发表时间: 2021-09-06 11:30:38
作者: 成都朗(lǎng)锐芯(xīn)科(kē)技(jì)发展有限公司
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测(cè)控设备领域上我国始终(zhōng)落后与国外发达国家,先进设备都需(xū)要从(cóng)国外购买(mǎi),去年疫情(qíng)贸易进出口的(de)封锁,让国内买不到(dào)国外先进设(shè)备而无法进行产品制造,也大多人明白将中国制造转变为中国“智”造迫在(zài)眉睫。而测控系统(tǒng)作为(wéi)打造国之重器的重要技术装备,其国产(chǎn)化进程更是刻不(bú)容缓。
测(cè)控设备国(guó)产(chǎn)化(huà),不仅可将用户需求(qiú)体现在产品上,更(gèng)多地提高可用性,还(hái)能全面提高国产测控(kòng)设备(bèi)的(de)核心(xīn)竞争力(lì),实现弯道超车。
虽前景光明,但测控设(shè)备的国(guó)产化绝(jué)非易事,其(qí)包括系统(tǒng)级的(de)国产化、OS级的国产化和芯片级(jí)的国(guó)产化(huà)“三步走(zǒu)战略”,涉及软件、硬件、算法等众多层(céng)面,如何在保(bǎo)证系统(tǒng)功能(néng)和可(kě)靠性的(de)同时,快速实现国产(chǎn)化、自主可控的测(cè)控系(xì)统,打造一张张闪亮的中国“智”造名片,成为各国内(nèi)企业亟(jí)待解决(jué)的难题。
纵观半(bàn)导体(tǐ)的制造流(liú)程,晶圆针测是非常重要的一环。检测晶圆的(de)响(xiǎng)应(yīng)参数进行特性分(fèn)类,需通过电压输(shū)出激励(lì)待测(cè)晶圆(yuán),再由高速的模(mó)拟量监测给电过程(chéng)中的响(xiǎng)应特性,同(tóng)时(shí)需要大量DiDo的开关量(liàng)控制探针台(tái)位置(zhì)。
针对上述需求(qiú),为该晶(jīng)圆针测环节提供了一款具有16位高分辨率和高(gāo)达1M的采(cǎi)集速度,并可(kě)同时输(shū)出两路(lù)波形的高(gāo)速采集与控(kòng)制卡(PCIE-1816H),另外依据不同(tóng)的数字控制点选配了多(duō)款(kuǎn)控制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基(jī)于(yú)三(sān)大维度(dù),成(chéng)功助力晶圆(yuán)检测(cè)设备实现国产化。
在智能制造的大趋势下,数(shù)控机床(chuáng)正向着高(gāo)精度、高速度、高(gāo)生产(chǎn)效率的方向发展(zhǎn),这对机床的动态特性提出了更高的要(yào)求。此外,通过(guò)模(mó)态测试与(yǔ)分析(xī)建立机床的结构动力学模型(xíng),也成为优化机床设计与性能、及早(zǎo)发(fā)现潜在(zài)问题的(de)有效途径。
对于机床的模态分析而言,更是(shì)一项“精细活”。其主要是使用力锤、激振器或者(zhě)激振台产生脉冲冲击,利用加速度传感器(qì)在多点进行同步响(xiǎng)应信号的采集,再用(yòng)数(shù)学分析(xī)方法计算机械(xiè)结构的固有振动特性,每一个模(mó)态都有特定(dìng)的固有频率、阻尼比(bǐ)和(hé)模(mó)态振型。这(zhè)套系统此前一直由国外(wài)公司(sī)提供(gòng),不仅面临着(zhe)市场(chǎng)供货不(bú)足的(de)问(wèn)题,其高昂的价格也让人望而却步。
除此之外,国外模态试验系统也(yě)面临(lín)着技术(shù)瓶颈。为保证实验数据精度(dù)和振型(xíng)辨识(shí)要求(qiú),需要(yào)在(zài)数控机床(chuáng)的主轴、立柱(zhù)和工作台布置几十个测点(diǎn),每个(gè)测点采用XYZ三向加速度传感(gǎn)器,采集通道高达100路(lù)以上。国(guó)外系统的模态测(cè)试(shì)系统(tǒng)一(yī)般仅有32通道,只能采(cǎi)取分区测试的方法,不仅非常耗时,而且由于各区域的测(cè)试不是在同一激(jī)励下进(jìn)行的(de),后续分析(xī)计算也(yě)极为(wéi)复杂。
针(zhēn)对数控机(jī)床(chuáng)模态试验,为客户量身(shēn)打造了一套104通道同步振(zhèn)动模(mó)态测试系统。该系统采用13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支(zhī)持8路信(xìn)号(hào),共104路,使用内部同步总线可实现纳(nà)秒级(jí)同步(bù)时(shí)间,误差小于100ns。
此外(wài)通过增加主机系统,可以实现200通(tōng)道以上的同步采集。应(yīng)变片信(xìn)号采集通过2片(piàn)PCIE-1813 实现,系统选用IPC-623BP机箱配合PCE-7B17底板支持15片PCIE板卡。软件(jiàn)兼备加速规传感器的灵敏度、供电方式、耦合方式、采样频率等设置,同时具(jù)有数据采集、曲线显示(shì)和数据保(bǎo)存的功能,实(shí)为打(dǎ)造系(xì)统(tǒng)级(jí)国产(chǎn)化的理想路(lù)径(jìng)。有效(xiào)解(jiě)决了国外模态测试(shì)系统价格(gé)高、备件(jiàn)不足的弊(bì)端,保证了系统(tǒng)的精度和稳定性,在与客户的密切合(hé)作与(yǔ)快速服务中(zhōng),高效完成国(guó)产化替代(dài)的(de)进程
测(cè)控设备国(guó)产化“三部曲(qǔ)”,第(dì)一曲“系统级国(guó)产化”已完美谢幕(mù)。放眼未(wèi)来,国产化之路任重道远,仍(réng)有(yǒu)诸(zhū)多挑战等(děng)待(dài)突破,等待我们探索其背(bèi)后的机遇。下一(yī)期“OS级(jí)国产化”,我们将带你(nǐ)揭开中国(guó)操作系统国(guó)产化的序幕,敬请(qǐng)关注!